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    SFC5400产品的核心是的.SensirionCMOSens®技术。它结合了很多具有先进信号的精密传感器元件，在单个芯片上处理从而提供一个校准和温度补偿信号（见图1）。感谢这种传感器技术，
SFC5400获得的速度评级，度和可重复性，非常有吸引力的系统成本。由于SFx5400具有出色的长期稳定性，因此没有需要重新校准。

    SFC5400提供快的建立时间和高控制范围以及机械方面的高度灵活性。连接器和通信接口。数字版本还提供多个可选的智能功能气体和范围，气体识别和自检能力。SFM5400是基于该阀的无阀流量计SFC5400质量流量控制器。它具有相同的功能，作为MFC的性能优势和配置没有提供控制器功能的对应物。

 SFC5400产品实物图：

数据表SFC5400 / SFM5400质量流量控制器/气体流量计数据表 - V14?

• 超快建立时（低至50 ms）。?
• 出色的精度/可重复性（分别为设定值的0.8％/ 0.1％）
• 宽控制范围（1000：1）。
• 广泛的接口选择：RS485，DeviceNet，IO-Link和模拟电压/电流
• 广泛的连接器选择：下装，世伟洛克，VCR，VCO，W-Seal
• 多种气体和气体识别
• NIST可溯源校准
• MTBF169年